爱发科螺杆真空泵在半导体产业的应用

上下料腔
具有Tray状态检测功能   
具备Tray功能，检测Tray中有夹具的具体slot号   
待工艺的夹具为白色，工艺完成的夹具为绿色   
15分钟内能从大气到5*10-6Torr   
极限真空<5*10-7Torr   
漏率<104n Torr/min   
离子规品牌为GP，***测量压力<5*10-8Torr   

日本爱发科








工艺腔

可放置至少48条夹具(单层16条,共三层)   
可记忆每条夹具的产品品种、工艺时间   
可按产品品种设置工艺时间，产品品种上限为15种，
时间位数为4位（小数点***位+小数点后1位）   
实际每条夹具的工艺时间与设置时间进行比较，达
到设置时间颜色变成绿色，设备发出声光报警；实
际工艺时间未达到设置时间，颜色为黄色；没有夹
具的位置，颜色为灰色；工艺工程师更改产品工艺
时间的设置，自更改完成后进行工艺的产品开始生
效（即已在工艺的产品不受此次更改影响，仍按更
改前的设置进行）   
20分钟内能从大气到5*10-6Torr   
极限真空<5*10-7Torr   
漏率<104nTorr/min   
离子规品牌为GP，***测量压力<5*10-8Torr   
材质为SUS304抛光电解